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等離子增強化學氣相沉積爐(PECVD系統)是借助于放電等離子體使含有薄膜組成的氣態物質發生化學反應,從而實現薄膜材料生長的一種新的制備技術。由于PECVD技術是通過應氣體放電來制備薄膜的,有效地利用了非平衡等離子體的反應特征,從根本上改變了反應體系的能量供給方式。
1200℃快速退火爐是節能型周期作業退火爐。它采用業內高標準的高純陶瓷纖維高壓模塊,組成全纖維保溫爐襯。其發熱元件從材質到設計經過嚴格質量控制,達到高的熱效率使用,實現快速加熱,快速完成退火熱處理工藝。在節能節電方面的優勢更加突出,微電腦程序控制整個退火工藝過程,實時自動化計算退火工藝所需的功率,同比節能節電30-50%。
1700℃雙溫區旋轉管式爐是一款供金屬氧化物或者其它無機材料的細微顆粒再氧化或者還原性氣氛中進行焙燒處理,是粉末冶金、陶瓷、耐火材料、鋰電正負極材料、新能源等行業顆粒粉末燒成、煅燒,測定材料在一定氣氛條件下的專業設備。
1400℃雙溫區旋轉爐是一種利用多種不同的能源加熱燃燒室,通過熱交換器和風機將熱風送進爐膛,進而把爐內食品烤熟的中型烘烤設備。該設備適合較大量產品生產??梢院婵荆好姘?、吐司、法棒、月餅、小蛋糕、老婆餅、蛋黃派、泡芙及各種肉類、海鮮干燥等食品加工用途。
1200℃雙溫區旋轉管式爐集控制系統與爐膛為一體。爐襯使用真空成型高純氧化鋁聚輕材料,采用硅碳棒為加熱元件,均勻分布于爐管兩側,溫場均勻可靠。鎳基合金材料制成的金屬爐管配備CF法蘭密封形式及金屬紫銅密封圈,提高設備的使用溫度,同時能實現在一定的高壓條件下實驗。